Étude et simulation des paramètres géométriques d’un capteur à onde acoustique de surface (SAW) sur environnement Comsol-Multiphysique
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Date
2016
Authors
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Publisher
UNIVERSITE DE MOHAMED BOUDIAF M'SILA FACULTE DE TECHNOLOGIE
Abstract
Dans ce travail, nous avons réalisé la simulation 2D d’un micro-capteur à ondes
acoustique de surface SAW sous environnement COMSOL multi- physiqueTM. Un
capteur SAW est constitué d’un transducteur interdigité (IDT) gravé sur un matériau
piézoélectrique et recouvert par une couche sensible polyisobutyléne (PIB). Cette
couche sensible est choisie pour ses affinités particulières avec les espèces à détecter
CH2Cl2 dichlorométhane (DCM). Notre contribution, s’est focalisée sur la
détermination des effets des paramètres géométriques sur la réponse d’un capteur
SAW à base de LiNbO3. Cette étude montre que l’augmentation de l’épaisseur et la
largeur de l'interdigité entraine une diminution de la fréquence de résonance de notre
capteur SAW.
Description
Keywords
Mots clés : Fréquence propre, SAW, COMSOL Multi physique