Élaboration et caractérisation des couches minces d’oxyde de zinc par spray ultrasonique pyrolyse
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Date
2018
Authors
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Volume Title
Publisher
Université Mohamed Boudiaf - M’sila
Abstract
Dans ce travail, nous avons étudié l’influence du temps de dépôt sur les
propriétés structurales, morphologiques, électriques et optiques des couches minces
d’oxyde de zinc (ZnO) déposées sur des substrats en verre par la méthode de spray
pyrolyse ultrasonique. La solution utilisée dans ce dépôt est composée de méthanol et
d’acétate de zinc (C4H6O4Zn. 2H2O). L’analyse par DRX a confirmé que les couches
minces ZnO déposées ont une structure hexagonale Wurtzite avec une orientation
préférentielle (002) suivant l'axe c perpendiculaire au substrat. L’analyse par le
spectrophotomètre UV-Visible représente une caractéristique importante permettant
d’évaluer la qualité des couches déposées. De plus, les échantillons élaborés ont
présenté une bonne transmission qui est supérieure à 80 % dans la région UV-Vis.
L’augmentation du gap optique de 3.03 à 3.23 eV avec l’augmentation du temps de
dépôt de la phase cristalline avec une diminution dans le gap optique (4.09 et 3,22 eV)
dans la phase amorphe.
Description
Keywords
Couches minces, effet temps de dépôt, propriétés optique, spray pyrolyse, ZnO.