Abstract:
Dans ce travail, nous avons réalisé la simulation 2D d’un micro-capteur à ondes acoustique de
surface SAW sous environnement COMSOL multi- physiqueTM. Un capteur SAW est
constitué d’un transducteur interdigité (IDT) gravé sur un matériau piézoélectrique et
recouvert par une couche sensible polyisobutyléne (PIB). Cette couche sensible est choisie
pour ses affinités particulières avec les espèces à détecter CH2Cl2 dichlorométhane (DCM).
Notre contribution, s’est focalisée sur la détermination des effets des paramètres d'influence
sur la réponse d’un capteur SAW à l'effet de masse. Une étude comparative de la réponse du
capteur SAW (𝛥𝑓) pour différents substrats (128° YX LiNbO3, 36° YX LiTaO3, quartz ST) a
été effectuée. Cette dernière montre que le capteur SAW doté d’un substrat de LiNbO3
d’orientation 128° et de coupe YX présente un décalage de la fréquence de résonance optimal
à l'effet de masse par apport à l'autre substrat (Quartz et LiTaO3).
