Abstract:
Dans cette étude, nous avons élaboré et caractérisé des couches minces d’oxyde d’étain
(SnO2) non dopée et dopées en Zinc pour différents taux de concentrations 3%, 5%, 7% et 9%
élaborées par la méthode spray pyrolyse. Les résultats de la caractérisation de DRX montre
que les couches sont polycristallines une structure tétragonale de type rutile due à l’existence
du pic plus intense relatif à l’orientation (110) situé autour de l’angle 26° pour tous les films
élaborés. Les variations de FWHM et la taille des cristallites sont très bien corrélées.
L’analyse par le spectrophotomètre UV-Visible montre une augmentation de la transmittance
de 70% jusqu’à 80% en fonction du taux de concentration de Zinc avec une valeur de T
moyenne autour de 75.6%. Une diminution de Eg de 3.6 eV à 3.43 eV pour un taux de dopage
allant de 0% jusqu’à 3%, puis une augmentation du gap optique jusqu’à 3.84 eV pour le
dopage 9%Zn. Une croissance de la conductivité électrique de 124 (Ω.cm)-1 jusqu’à 469
(Ω.cm)-1 pour des taux de dopage en Zn Fluor de 3% à 9%, respectivement. Donc, le Zinc est
un paramètre important utilisé pour améliorer la transmittance et la conductivité des films à
base de SnO2 élaborés par la technique Spray pyrolyse.
Abstract:
In this study, we have developed and characterized thin layers of undoped tin oxide
(SnO2) doped with Zinc for different concentration rates 3%, 5%, 7% and 9% produced by
the spray pyrolysis method. The results of the characterization of DRX show that the layers
are polycrystalline, a tetragonal structure of rutile type due to the existence of the more
intense peak relative to the orientation (110) located around the angle 26 ° for all the films
produced. The variations in FWHM and the size of the crystallites are very well correlated.
Analysis by the UV-Visible spectrophotometer shows an increase in transmittance from 70%
to 80% depending on the concentration of Zinc with an average T value around 75.6%. A
decrease in Eg from 3.6 eV to 3.43 eV for a doping rate ranging from 0% to 3%, then an
increase in the. optical gap up to 3.84 eV for doping 9% Zn. An increase in electrical
conductivity from 124 (Ω.cm) -1 to 469 (Ω.cm) -1 for Zn Fluoride doping rates of 3% to 9%,
respectively. Zinc is therefore an important parameter technique.
Keywords: Thin films, SnO2, Zinc, DRX, Transmittance, Pyrolysis Spray.