Azzeddine, AMOURA
(UNIVERSITE DE M’SILA FACULTE DE TECHNOLOGIE, 2015)
L’objectif du travail effectué dans ce mémoire est l’étude et la simulation d’un capteur de force. Notre capteur est constitué d’un microlevier en SiO2 sur lequel est implanté une résistance variable en Si. Les caractéristiques ...